Ki sa ki souvan itilize gaz yo grave nan grave sèk?

Teknoloji sèk grave se youn nan pwosesis kle yo. Sèk grave gaz se yon materyèl kle nan manifakti semi -conducteurs ak yon sous gaz enpòtan pou plasma grave. Pèfòmans li dirèkteman afekte bon jan kalite a ak pèfòmans nan pwodwi final la. Atik sa a sitou pataje ki sa yo souvan itilize gaz yo grave nan pwosesis la grave sèk.

Gaz ki baze sou fliyò: tankouKabòn tetrafluoride (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) ak perfluoropropane (C3F8). Gaz sa yo ka efektivman jenere temèt fliyò lè grave Silisyòm ak Silisyòm konpoze, kidonk reyisi retire materyèl.

Gaz ki baze sou klò: tankou klò (CL2),Trichlorid bor (BCL3)ak Silisyòm tetrachlorid (SICL4). Gaz ki baze sou klò ka bay iyon klori pandan pwosesis la grave, ki ede amelyore pousantaj la grave ak selectivite.

Gaz ki baze sou brom: tankou brom (BR2) ak yodid brom (IBR). Gaz ki baze sou brom ka bay pi bon pèfòmans grave nan sèten pwosesis grave, espesyalman lè grave materyèl difisil tankou Silisyòm carbure.

Nitwojèn ki baze sou ak oksijèn ki baze sou gaz: tankou trifluoride nitwojèn (NF3) ak oksijèn (O2). Gaz sa yo anjeneral itilize pou ajiste kondisyon reyaksyon yo nan pwosesis grave pou amelyore selectivite ak direksyon grave a.

Gaz sa yo reyalize egzak grave nan sifas la materyèl nan yon konbinezon de fizik sputtering ak reyaksyon chimik pandan plasma grave. Chwa a nan grave gaz depann sou ki kalite materyèl yo dwe grave, kondisyon yo ki selectivite nan grave a, ak pousantaj la vle grave.