Ki gaz grave yo itilize souvan nan grave sèk?

Teknoloji grave sèk la se youn nan pwosesis kle yo. Gaz grave sèk la se yon materyèl kle nan fabrikasyon semi-kondiktè epi yon sous gaz enpòtan pou grave plasma. Pèfòmans li afekte dirèkteman kalite ak pèfòmans pwodwi final la. Atik sa a sitou pataje ki gaz grave ki pi souvan itilize nan pwosesis grave sèk la.

Gaz ki gen fliyò: tankoutetrafluorid kabòn (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) ak perfluoropropane (C3F8). Gaz sa yo ka efektivman jenere fliyò volatil lè y ap grave silikon ak konpoze silikon, kidonk yo ka retire materyèl.

Gaz ki gen klò: tankou klò (Cl2),triklorid bor (BCl3)ak tetraklori Silisyòm (SiCl4). Gaz ki baze sou klò ka bay iyon klori pandan pwosesis grave a, sa ki ede amelyore vitès grave a ak selektivite a.

Gaz ki baze sou brom: tankou brom (Br2) ak yodid brom (IBr). Gaz ki baze sou brom ka bay pi bon pèfòmans grave nan sèten pwosesis grave, sitou lè y ap grave materyèl di tankou carbure silikon.

Gaz ki baze sou azòt ak oksijèn: tankou trifluorid azòt (NF3) ak oksijèn (O2). Gaz sa yo anjeneral itilize pou ajiste kondisyon reyaksyon yo nan pwosesis grave a pou amelyore selektivite ak direksyon grave a.

Gaz sa yo reyalize yon grave presi sou sifas materyèl la atravè yon konbinezon pulverizasyon fizik ak reyaksyon chimik pandan grave plasma a. Chwa gaz grave a depann de kalite materyèl pou grave a, egzijans selektivite grave a, ak vitès grave ki vle a.