Itilizasyon hexafluoride tengstèn (WF6)

Hexafluoride tengstèn (WF6) depoze sou sifas wafer la atravè yon pwosesis CVD, ranpli tranche yo entèkoneksyon metal, ak fòme entèkoneksyon an metal ant kouch.

Ann pale sou plasma an premye.Plasma se yon fòm matyè sitou ki konpoze de elektwon gratis ak iyon chaje.Li egziste lajman nan linivè a epi li souvan konsidere kòm katriyèm eta a nan matyè.Li rele eta plasma a, ki rele tou "Plasma".Plasma gen gwo konduktiviti elektrik epi li gen yon efè kouti fò ak jaden elektwomayetik.Li se yon gaz pasyèlman ionize, ki konpoze de elektwon, iyon, radikal gratis, patikil net, ak foton.Plasma nan tèt li se yon melanj elektrik net ki gen patikil fizikman ak chimik aktif.

Eksplikasyon dwat la se ke anba aksyon an nan enèji segondè, molekil la pral simonte fòs van der Waals, fòs kosyon chimik ak fòs Coulomb, epi prezante yon fòm elektrisite net kòm yon antye.An menm tan an, gwo enèji ki soti deyò genyen batay twa fòs ki anwo yo.Fonksyon, elektwon ak iyon prezante yon eta gratis, ki ka atifisyèlman itilize anba modulation nan yon jaden mayetik, tankou pwosesis grave semi-conducteurs, pwosesis CVD, PVD ak pwosesis IMP.

Ki sa ki se gwo enèji?Nan teyori, tou de tanperati ki wo ak segondè frekans RF ka itilize.Anjeneral pale, tanperati ki wo se prèske enposib reyalize.Egzijans tanperati sa a twò wo epi li ka tou pre tanperati solèy la.Li se fondamantalman enposib reyalize nan pwosesis la.Se poutèt sa, endistri a anjeneral sèvi ak segondè-frekans RF reyalize li.Plasma RF ka rive jiska 13MHz +.

Hexafluoride tengstèn se plasmaize anba aksyon an nan yon jaden elektrik, ak Lè sa a, vapè-depoze pa yon jaden mayetik.W atòm yo sanble ak plim zwa sezon fredi ak tonbe atè anba aksyon gravite a.Dousman, atòm W yo depoze nan twou yo, epi finalman plen twou konplè yo fòme entèkoneksyon metal.Anplis depoze atòm W nan twou yo, èske yo pral depoze tou sou sifas Wafer la?Wi, definitivman.Anjeneral pale, ou ka sèvi ak pwosesis W-CMP, ki se sa nou rele pwosesis la fanm k'ap pile mekanik yo retire.Li sanble ak sèvi ak yon bale pou bale atè a apre gwo nèj.Nèj la sou tè a se bale, men nèj la nan twou a sou tè a ap rete.Desann, apeprè menm bagay la.