Yo depoze ekzafluorid tengstèn (WF6) sou sifas waf la atravè yon pwosesis CVD, li ranpli tranche entèkoneksyon metal yo, epi li fòme entèkoneksyon metal ant kouch yo.
Ann pale de plasma anvan. Plasma se yon fòm matyè ki konpoze prensipalman de elektwon lib ak iyon chaje. Li egziste anpil nan linivè a epi souvan yo konsidere li kòm katriyèm eta matyè a. Yo rele li eta plasma a, ke yo rele tou "Plasma". Plasma gen yon konduktivite elektrik ki wo epi li gen yon gwo efè kouplaj ak chan mayetik la. Li se yon gaz pasyèlman iyonize, ki konpoze de elektwon, iyon, radikal lib, patikil net, ak foton. Plasma a li menm se yon melanj elektrikman net ki gen patikil fizikman ak chimikman aktif.
Eksplikasyon ki pi senp lan se ke anba aksyon gwo enèji a, molekil la pral simonte fòs van der Waals, fòs lyezon chimik ak fòs Coulomb, epi prezante yon fòm elektrisite net an jeneral. An menm tan, gwo enèji ki soti nan ekstèn lan simonte twa fòs ki anwo yo. Fonksyonèlman, elektwon ak iyon yo prezante yon eta lib, ki ka itilize atifisyèlman anba modilasyon yon chan mayetik, tankou pwosesis grave semi-kondiktè, pwosesis CVD, PVD ak pwosesis IMP.
Kisa ki gwo enèji? An teyori, yo ka itilize ni gwo tanperati ni gwo frekans RF. Anjeneral, li prèske enposib pou atenn gwo tanperati. Egzijans tanperati sa a twò wo epi li ka pre tanperati solèy la. Li fondamantalman enposib pou atenn nan pwosesis la. Se poutèt sa, endistri a anjeneral itilize gwo frekans RF pou atenn li. Plasma RF ka rive jiska 13MHz+.
Yo plasma egzafluorid tengstèn anba aksyon yon chan elektrik, epi answit yo depoze l an vapè pa yon chan mayetik. Atòm W yo sanble ak plim zwa nan sezon fredi a epi yo tonbe atè anba aksyon gravitasyon. Tou dousman, atòm W yo depoze nan twou yo, epi finalman yo ranpli twou yo nèt pou fòme koneksyon metal. Anplis depoze atòm W nan twou yo, èske y ap depoze tou sou sifas wafer la? Wi, definitivman. Anjeneral, ou ka itilize pwosesis W-CMP a, ke nou rele pwosesis fanm mekanik la, pou retire li. Li sanble ak lè w ap itilize yon bale pou bale atè apre yon gwo nèj. Nèj ki atè a bale, men nèj ki nan twou a ap rete. Anba, apeprè menm jan an.
Dat piblikasyon: 24 Desanm 2021
