Sèvi ak tengstèn hexafluoride (WF6)

Se tengstèn hexafluoride (WF6) depoze sou sifas la nan wafer la nan yon pwosesis kardyovaskulèr, ranpli tranche yo metal interconnexion, ak fòme entèrkonèksyon an metal ant kouch.

Ann pale sou plasma an premye. Plasma se yon fòm matyè sitou ki konpoze de elektwon gratis ak iyon chaje. Li egziste lajman nan linivè a epi li se souvan konsidere kòm eta a katriyèm nan matyè yo. Yo rele sa eta a Plasma, yo te rele tou "Plasma". Plasma gen gwo konduktiviti elektrik e li gen yon efè kouti fò ak jaden elektwomayetik. Li se yon gaz ki pasyèlman ionized, ki konpoze de elektwon, iyon, radikal gratis, patikil net, ak foton. Plasma nan tèt li se yon melanj elektrik net ki gen patikil fizikman ak chimikman aktif.

Eksplikasyon dwat la se ke anba aksyon an nan enèji segondè, molekil la pral simonte van der Waals fòs la, fòs kosyon chimik ak fòs koulonb, epi prezante yon fòm elektrisite net kòm yon antye. An menm tan an, enèji nan segondè separe pa deyò a genyen batay la pi wo a twa fòs yo. Fonksyon, elektwon ak iyon prezante yon eta gratis, ki ka atifisyèlman itilize anba batman an nan yon jaden mayetik, tankou pwosesis semi -conducteurs grave, pwosesis kardyovaskulèr, PVD ak pwosesis imp.

Ki sa ki enèji segondè? Nan teyori, tou de tanperati ki wo ak segondè frekans RF ka itilize. Anjeneral pale, tanperati ki wo se prèske enposib reyalize. Kondisyon tanperati sa a twò wo epi yo ka fèmen nan tanperati solèy la. Li se fondamantalman enposib reyalize nan pwosesis la. Se poutèt sa, endistri a anjeneral sèvi ak wo-frekans RF reyalize li. Plasma RF ka rive jwenn kòm yon wo 13MHz+.

Hexafluoride tengstèn se plasmaized anba aksyon an nan yon jaden elektrik, ak Lè sa a, vapè-depoze pa yon jaden mayetik. W atòm yo sanble ak plim zwa sezon fredi ak tonbe nan tè a anba aksyon an nan gravite. Dousman, atòm W yo depoze nan twou a, epi finalman plen plen nan twou yo fòme konèksyon metal. Anplis de depoze atòm W nan twou a, yo pral depoze yo tou sou sifas pen plat la? Wi, definitivman. Anjeneral pale, ou ka itilize pwosesis la W-CMP, ki se sa nou rele pwosesis la mekanik fanm k'ap pile yo retire. Li sanble ak lè l sèvi avèk yon bale bale etaj la apre nèj lou. Se nèj la sou tè a baleye lwen, men nèj la nan twou a sou tè a ap rete. Desann, apeprè menm bagay la.