Elektwonikgaz espesyalse yon branch enpòtan nan gaz espesyal. Yo penetre prèske tout lyen nan pwodiksyon semi-conducteurs epi yo se matyè premyè endispansab pou pwodiksyon an nan endistri elektwonik tankou sikui entegre ultra-gwo-echèl, aparèy ekspozisyon panèl plat, ak selil solè.

Nan teknoloji semi-conducteurs, gaz ki gen fliyò yo lajman itilize. Kounye a, nan mache mondyal gaz elektwonik la, gaz elektwonik ki gen fliyò reprezante apeprè 30% nan total la. Fliyò ki gen gaz elektwonik yo se yon eleman enpòtan nan gaz elektwonik espesyal nan jaden an nan materyèl enfòmasyon elektwonik. Yo pwensipalman itilize kòm ajan netwayaj ak ajan grave, epi yo ka itilize tou kòm dopan, materyèl fim-fòme, elatriye Nan atik sa a, otè a pral mennen ou konprann gaz yo komen fliyò ki gen.

Sa ki anba la yo se souvan itilize fliyò ki gen gaz

Trifluorid Azòt (NF3): Yon gaz ki itilize pou netwaye ak retire depo, anjeneral yo itilize pou netwaye chanm reyaksyon ak sifas ekipman yo.

Hexafluoride souf (SF6): Yon ajan fliyò ki itilize nan pwosesis depo oksid ak kòm yon gaz posibilite pou ranpli medya posibilite.

Fliyò idwojèn (HF): Yo itilize pou retire oksid nan sifas Silisyòm ak kòm yon etchant pou grave Silisyòm ak lòt materyèl.

Fliyò azòt (NF): Yo itilize pou grave materyèl tankou nitrure Silisyòm (SiN) ak nitrure aliminyòm (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) aktetrafluorometan (CF4): Yo itilize pou grave materyèl fliyò tankou fliyò Silisyòm ak fliyò aliminyòm.

Sepandan, gaz ki gen fliyò gen sèten danje, tankou toksisite, korozivite, ak enflamabilite.

Toksisite

Gen kèk gaz ki gen fliyò ki toksik, tankou fliyò idwojèn (HF), ki gen vapè trè enèvan pou po a ak aparèy respiratwa epi li danjere pou sante moun.

Kowozivite

Fliyò idwojèn ak kèk fliyò yo trè korozivite epi yo ka lakòz gwo domaj nan po a, je ak aparèy respiratwa.

Enflamabilite

Gen kèk fliyò ki ka pran dife epi yo reyaji avèk oksijèn oswa dlo nan lè a pou libere chalè entans ak gaz toksik, ki ka lakòz dife oswa eksplozyon.

Danje presyon wo

Gen kèk gaz fliyò ki eksplozif anba presyon ki wo epi yo mande pou swen espesyal lè yo itilize ak estoke.

Enpak sou anviwònman an

Gaz ki gen fliyò gen gwo lavi atmosferik ak valè GWP, ki gen yon efè destriktif sou kouch ozòn atmosferik la epi ki ka lakòz rechofman planèt la ak polisyon nan anviwònman an.

Aplikasyon an nan gaz nan jaden émergentes tankou elektwonik kontinye apwofondi, pote yon gwo kantite nouvo demann pou gaz endistriyèl. Ki baze sou gwo kantite nouvo kapasite pwodiksyon pi gwo konpozan elektwonik tankou semi-conducteurs ak panno ekspozisyon nan tè pwensipal Lachin nan kèk ane kap vini yo, osi byen ke gwo demann pou ranplasman enpòte materyèl chimik elektwonik, endistri gaz elektwonik domestik la pral inogire. yon to kwasans segondè.