Elektwonikgaz espesyalse yon branch enpòtan nan gaz espesyal. Yo antre nan prèske chak lyen nan pwodiksyon semi-conducteurs ak yo endispansab matyè premyè pou pwodiksyon an nan endistri elektwonik tankou ultra-gwo-echèl sikwi entegre, plat aparèy ekspozisyon panèl, ak selil solè.

Nan teknoloji semi-conducteurs, gaz ki gen fliyò yo itilize lajman. Kounye a, nan mache mondyal la gaz elektwonik, fliyò ki gen gaz elektwonik kont pou apeprè 30% nan total la. Fliyò ki gen gaz elektwonik yo se yon eleman enpòtan nan gaz espesyal elektwonik nan jaden an nan materyèl enfòmasyon elektwonik. Yo itilize sitou kòm ajan netwayaj ak ajan grave, epi yo ka itilize tou kòm dopan, materyèl ki fòme fim, elatriye. Nan atik sa a, otè a pral pran ou konprann komen gaz yo ki gen fliyò.

Sa ki anba yo yo souvan itilize fliyò ki gen gaz

Azòt trifluoride (NF3): yon gaz yo itilize pou netwaye ak retire depo, anjeneral yo itilize pou netwaye chanm reyaksyon ak sifas ekipman yo.

Souf hexafluoride (SF6): Yon ajan fliyò yo itilize nan pwosesis depozisyon oksid ak kòm yon gaz posibilite pou ranpli medya posibilite.

Idwojèn fliyò (HF): itilize yo retire oksid soti nan sifas la Silisyòm ak kòm yon etchant pou grave Silisyòm ak lòt materyèl.

Fliyò nitwojèn (NF): yo itilize pou etch materyèl tankou Silisyòm nitrid (SIN) ak aliminyòm nitrid (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) akTetrafluoromethane (CF4): Itilize etch materyèl fliyò tankou fliyò Silisyòm ak fliyò aliminyòm.

Sepandan, gaz ki gen fliyò gen sèten danje, ki gen ladan toksisite, korozivite, ak enflamabilite.

Toksisite

Gen kèk gaz ki gen fliyò ki gen toksik, tankou fliyò idwojèn (HF), ki gen vapè ki trè enèvan sou po a ak aparèy respiratwa ak danjere nan sante moun.

Korozivite

Fliyò idwojèn ak kèk fliyò yo trè korozivite epi yo ka lakòz gwo domaj nan po a, je ak aparèy respiratwa.

Enflamabilite

Gen kèk fliyò ki ka pran dife ak reyaji ak oksijèn oswa dlo nan lè a lage chalè entans ak gaz toksik, ki ka lakòz dife oswa eksplozyon.

High-presyon danje

Gen kèk gaz fliyò ki eksplozif anba presyon ki wo epi yo bezwen swen espesyal lè yo itilize ak estoke.

Enpak sou anviwònman an

Gaz ki gen fliyò gen gwo vi atmosferik ak valè GWP, ki gen yon efè destriktif sou kouch ozòn atmosferik la epi yo ka lakòz rechofman planèt la ak polisyon nan anviwònman an.

Aplikasyon an nan gaz nan jaden émergentes tankou elektwonik ap kontinye apwofondi, yo pote yon gwo kantite lajan nan nouvo demand pou gaz endistriyèl. Baze sou gwo kantite lajan pou nouvo kapasite pwodiksyon nan pi gwo konpozan elektwonik tankou semi -kondiktè ak panno ekspozisyon nan tè pwensipal Lachin nan ane kap vini yo, kòm byen ke demann lan fò pou sibstitisyon enpòte nan materyèl chimik elektwonik, endistri a gaz domestik elektwonik pral Usher nan yon to kwasans segondè.