Elektwonikgaz espesyalse yon branch enpòtan nan gaz espesyal yo. Yo penetre prèske tout lyen nan pwodiksyon semi-kondiktè epi yo se matyè premyè endispansab pou pwodiksyon endistri elektwonik tankou sikui entegre ultra-gwo echèl, aparèy ekspozisyon panèl plat, ak selil solè.

Nan teknoloji semi-kondiktè, gaz ki gen fliyò yo lajman itilize. Kounye a, nan mache mondyal gaz elektwonik la, gaz elektwonik ki gen fliyò yo reprezante anviwon 30% nan total la. Gaz elektwonik ki gen fliyò yo se yon eleman enpòtan nan gaz elektwonik espesyal nan domèn materyèl enfòmasyon elektwonik yo. Yo sitou itilize kòm ajan netwayaj ak ajan grave, epi yo kapab itilize tou kòm dopan, materyèl ki fòme fim, elatriye. Nan atik sa a, otè a pral fè ou konprann gaz ki gen fliyò komen yo.

Sa yo se gaz ki gen fliyò yo itilize souvan

Trifluorid azòt (NF3): Yon gaz yo itilize pou netwaye ak retire depo, anjeneral yo itilize li pou netwaye chanm reyaksyon ak sifas ekipman yo.

Egzafluorid souf (SF6)Yon ajan fliyoran ki itilize nan pwosesis depo oksid ak kòm yon gaz izolan pou ranpli medya izolan.

Fliyò idwojèn (HF): Itilize pou retire oksid sou sifas silikon an epi kòm yon pwodui pou grave silikon ak lòt materyèl.

Fliyò azòt (NF): Yo itilize li pou grave materyèl tankou nitrid silikon (SiN) ak nitrid aliminyòm (AlN).

Trifluorometàn (CHF3) aktetrafluorometàn (CF4)Yo itilize li pou grave materyèl fliyò tankou fliyò Silisyòm ak fliyò aliminyòm.

Sepandan, gaz ki gen fliyò gen sèten danje, tankou toksisite, korozivite, ak enflamabilite.

Toksisite

Gen kèk gaz ki gen fliyò ki toksik, tankou fliyò idwojèn (HF), ki gen vapè ki irite po a ak aparèy respiratwa a anpil epi ki danjere pou sante moun.

Korozivite

Fliyò idwojèn ak kèk fliyò trè koroziv epi yo ka lakòz gwo domaj sou po a, je yo ak aparèy respiratwa a.

Enflamabilite

Gen kèk fliyò ki ka pran dife epi ki reyaji avèk oksijèn oswa dlo nan lè a pou degaje yon chalè entans ak gaz toksik, sa ki ka lakòz dife oswa eksplozyon.

Danje presyon ki wo

Gen kèk gaz fliyore ki eksplozif anba gwo presyon epi ki mande atansyon espesyal lè y ap itilize yo ak lè y ap estoke yo.

Enpak sou anviwònman an

Gaz ki gen fliyò yo gen yon dire lavi atmosferik ak yon valè GWP ki wo, sa ki gen yon efè destriktif sou kouch ozòn atmosferik la epi ki ka lakòz rechofman planèt la ak polisyon anviwònman an.

Aplikasyon gaz nan domèn émergentes tankou elektwonik kontinye ap vin pi pwofon, sa ki pote yon gwo kantite nouvo demann pou gaz endistriyèl. Baze sou gwo kantite nouvo kapasite pwodiksyon gwo konpozan elektwonik tankou semi-kondiktè ak panno ekspozisyon nan Lachin kontinantal nan kèk ane kap vini yo, ansanm ak gwo demann pou sibstitisyon enpòtasyon materyèl chimik elektwonik, endistri gaz elektwonik domestik la pral inogire yon gwo to kwasans.