Wòl hexafluoride souf nan gravure nitrure Silisyòm

Egzafluorid souf se yon gaz ki gen pwopriyete izolasyon ekselan epi li se souvan yo itilize nan etenn ak transfòmatè wo-vòltaj, liy transmisyon wo-vòltaj, transfòmatè, elatriye. . Elektwonik klas segondè-pite souf hexafluoride se yon etchant elektwonik ideyal, ki se lajman ki itilize nan jaden an nan teknoloji mikwo-elektwonik. Jodi a, Niu Ruide espesyal editè gaz Yueyue pral prezante aplikasyon an nan hexafluoride souf nan silisyòm nitrure grave ak enfliyans nan paramèt diferan.

Nou diskite sou pwosesis SF6 plasma grave SiNx, ki gen ladan chanje pouvwa plasma a, rapò gaz SF6/He ak ajoute gaz kasyonik O2, diskite sou enfliyans li sou pousantaj grave nan kouch pwoteksyon eleman SiNx nan TFT, ak lè l sèvi avèk radyasyon plasma a. espektwomèt analize chanjman konsantrasyon chak espès nan plasma SF6/He, SF6/He/O2 ak to disosyasyon SF6, epi li eksplore relasyon ki genyen ant chanjman nan pousantaj grave SiNx ak konsantrasyon espès plasma a.

Etid yo te jwenn ke lè pouvwa plasma a ogmante, to a grave ogmante; si pousantaj koule nan SF6 nan plasma a ogmante, konsantrasyon atòm F la ogmante epi li pozitivman korelasyon ak pousantaj la grave. Anplis de sa, apre yo fin ajoute gaz kationik O2 anba pousantaj koule total fiks, li pral gen efè pou ogmante to a grave, men anba diferan rapò koule O2/SF6, pral gen diferan mekanis reyaksyon, ki ka divize an twa pati. : (1) Rapò koule O2/SF6 a piti anpil, O2 ka ede dissociation SF6, ak pousantaj grave nan moman sa a pi gran pase lè O2 pa ajoute. (2) Lè rapò koule O2/SF6 a pi gran pase 0.2 nan entèval ki apwoche 1, nan moman sa a, akòz gwo kantite disosyasyon SF6 pou fòme atòm F, pousantaj grave a se pi wo a; men an menm tan an, atòm O nan plasma a ap ogmante tou epi li fasil pou fòme SiOx oswa SiNxO(yx) ak sifas fim SiNx, ak plis atòm O ogmante, se pi difisil atòm F yo ap vin pi difisil pou la. reyaksyon grave. Se poutèt sa, pousantaj la grave kòmanse ralanti lè rapò a O2/SF6 se tou pre 1. (3) Lè rapò a O2/SF6 pi gran pase 1, pousantaj la grave diminye. Akòz gwo ogmantasyon nan O2, atòm F yo dissociated fè kolizyon ak O2 ak fòm OF, ki diminye konsantrasyon atòm F yo, sa ki lakòz yon diminisyon nan pousantaj la grave. Li ka wè nan sa a ke lè yo ajoute O2, rapò a koule nan O2 / SF6 se ant 0.2 ak 0.8, ak pi bon pousantaj la grave ka jwenn.