Wòl egzafluorid souf nan grave nitrid Silisyòm

Egzafluorid souf se yon gaz ki gen ekselan pwopriyete izolasyon epi li souvan itilize nan ekipman pou etenn ark wo vòltaj ak transformateur, liy transmisyon wo vòltaj, transformateur, elatriye. Sepandan, anplis fonksyon sa yo, egzafluorid souf kapab itilize tou kòm yon pwodui pou grave elektwonik. Egzafluorid souf wo pite klas elektwonik se yon pwodui ideyal pou grave elektwonik, ki lajman itilize nan domèn teknoloji mikwoelektwonik. Jodi a, editè espesyal gaz Niu Ruide, Yueyue, pral prezante aplikasyon egzafluorid souf nan grave nitrid Silisyòm ak enfliyans diferan paramèt yo.

Nou diskite pwosesis grave plasma SF6 SiNx la, ki gen ladan chanjman puisans plasma a, rapò gaz SF6/He ak ajoute gaz katyonik O2 a, diskite sou enfliyans li sou vitès grave kouch pwoteksyon eleman SiNx TFT a, ak itilizasyon radyasyon plasma. Espektwomèt la analize chanjman konsantrasyon chak espès nan SF6/He, plasma SF6/He/O2 ak vitès disosyasyon SF6 la, epi li eksplore relasyon ki genyen ant chanjman vitès grave SiNx ak konsantrasyon espès plasma a.

Etid yo montre ke lè puisans plasma a ogmante, vitès grave a ogmante; si vitès koule SF6 nan plasma a ogmante, konsantrasyon atòm F la ogmante epi li korele pozitivman ak vitès grave a. Anplis de sa, apre yo fin ajoute gaz katyonik O2 anba vitès koule total fiks la, sa ap gen efè ogmante vitès grave a, men anba diferan rapò koule O2/SF6, pral gen diferan mekanis reyaksyon, ki ka divize an twa pati: (1) Rapò koule O2/SF6 la piti anpil, O2 ka ede disosyasyon SF6 la, epi vitès grave a nan moman sa a pi gran pase lè yo pa ajoute O2. (2) Lè rapò koule O2/SF6 la pi gran pase 0.2 nan entèval ki apwoche 1, nan moman sa a, akòz gwo kantite disosyasyon SF6 pou fòme atòm F, vitès grave a pi wo a; Men an menm tan, atòm O yo nan plasma a ap ogmante tou epi li fasil pou fòme SiOx oswa SiNxO(yx) ak sifas fim SiNx la, epi plis atòm O yo ogmante, se plis atòm F yo ap difisil pou reyaksyon grave a. Se poutèt sa, vitès grave a kòmanse ralanti lè rapò O2/SF6 la pre 1. (3) Lè rapò O2/SF6 la pi gran pase 1, vitès grave a diminye. Akòz gwo ogmantasyon nan O2, atòm F disosye yo kolizyone ak O2 epi fòme OF, sa ki diminye konsantrasyon atòm F yo, sa ki lakòz yon diminisyon nan vitès grave a. Nou ka wè nan sa a ke lè yo ajoute O2, rapò koule O2/SF6 la se ant 0.2 ak 0.8, epi yo ka jwenn pi bon vitès grave a.