Gaz elektwonik espesyal ki gen fliyò komen yo enkliegzafluorid souf (SF6), Hexafluoride tengstèn (WF6),tetrafluorid kabòn (CF4), trifluorometàn (CHF3), trifluorid azòt (NF3), egzafluoroetan (C2F6) ak oktafluoropropan (C3F8).
Avèk devlopman nanoteknoloji ak devlopman sou gwo echèl endistri elektwonik la, demann li ap ogmante chak jou. Trifluorid nitwojèn, kòm yon gaz elektwonik espesyal endispansab ak pi gwo itilize nan pwodiksyon ak pwosesis panno ak semi-kondiktè, gen yon espas mache laj.
Kòm yon kalite gaz espesyal ki gen fliyò,trifluorid nitwojèn (NF3)se pwodui gaz espesyal elektwonik ki gen pi gwo kapasite sou mache a. Li inaktif chimikman nan tanperati chanm, pi aktif pase oksijèn nan tanperati ki wo, pi estab pase fliyò, epi fasil pou manyen. Trifluorid nitwojèn yo itilize sitou kòm yon gaz grave plasma ak yon ajan netwayaj chanm reyaksyon, epi li apwopriye pou jaden fabrikasyon chip semi-kondiktè, ekran plat, fib optik, selil fotovoltaik, elatriye.
Konpare ak lòt gaz elektwonik ki gen fliyò,trifluorid nitwojènLi gen avantaj reyaksyon rapid ak efikasite segondè. Espesyalman nan grave materyèl ki gen Silisyòm tankou nitrid Silisyòm, li gen yon vitès grave ak selektivite ki wo, li pa kite okenn rezidi sou sifas objè grave a. Li se tou yon trè bon ajan netwayaj epi li pa polisyon sifas la, sa ki ka satisfè bezwen pwosesis pwosesis la.
Dat piblikasyon: 14 septanm 2024
