Komen gaz elektwonik espesyal ki gen fliyò gen ladan yohexafluoride souf (SF6), Hexafluoride tengstèn (WF6),tetrafluorid kabòn (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorid nitwojèn (NF3), ègsafluoroetan (C2F6) ak octafluoropropane (C3F8).
Avèk devlopman nanoteknoloji ak devlopman gwo echèl endistri elektwonik la, demann li yo ap ogmante jou pa jou. Trifluorid Azòt, kòm yon gaz elektwonik espesyal endispansab ak pi gwo itilize nan pwodiksyon ak pwosesis panno ak semi-conducteurs, gen yon espas mache laj.
Kòm yon kalite gaz espesyal ki gen fliyò,trifluorid nitwojèn (NF3)se elektwonik gaz espesyal pwodwi ak pi gwo kapasite mache. Li se chimikman inaktif nan tanperati chanm, pi aktif pase oksijèn nan tanperati ki wo, pi estab pase fliyò, ak fasil okipe. Trifluorid Azòt pwensipalman itilize kòm yon gaz plasma grav ak yon ajan netwayaj chanm reyaksyon, epi li apwopriye pou jaden yo fabrikasyon nan chips semi-conducteurs, ekspozisyon panèl plat, fib optik, selil fotovoltaik, elatriye.
Konpare ak lòt gaz elektwonik ki gen fliyò,trifluoride nitwojèngen avantaj ki genyen nan reyaksyon rapid ak efikasite segondè. Espesyalman nan grave nan materyèl Silisyòm ki gen tankou nitrure Silisyòm, li gen yon gwo pousantaj grave ak selektivite, pa kite okenn rezidi sou sifas la nan objè a grave. Li se tou yon ajan netwayaj trè bon epi li pa gen okenn polisyon nan sifas la, ki ka satisfè bezwen yo nan pwosesis la pwosesis.
Tan pòs: 14 septanm 2024
