Pi gwo kantite gaz espesyal elektwonik la - trifluorid azòt NF3

Endistri semi-kondiktè ak endistri panèl peyi nou an kenbe yon wo nivo pwosperite. Trifluorid nitwojèn, kòm yon gaz elektwonik espesyal endispansab ak pi gwo volim nan pwodiksyon ak pwosesis panèl ak semi-kondiktè, gen yon espas mache laj.

Gaz elektwonik espesyal ki gen fliyò yo itilize souvan gen ladan yoegzafluorid souf (SF6), Hexafluoride tengstèn (WF6),tetrafluorid kabòn (CF4), trifluorometàn (CHF3), trifluorid azòt (NF3), egzafluoroetan (C2F6) ak oktafluoropropan (C3F8). Trifluorid azòt (NF3) se sitou itilize kòm yon sous fliyò pou lazè chimik ki gen gwo enèji ki gen gaz fliyò idwojèn. Pati efikas la (anviwon 25%) nan enèji reyaksyon ant H2-O2 ak F2 ka libere pa radyasyon lazè, kidonk lazè HF-OF yo se lazè ki pi pwomèt pami lazè chimik yo.

Trifluorid azòt se yon ekselan gaz pou grave plasma nan endistri mikwoelektwonik la. Pou grave Silisyòm ak nitrid Silisyòm, trifluorid azòt gen yon vitès grave ak yon selektivite ki pi wo pase tetrafluorid kabòn ak yon melanj tetrafluorid kabòn ak oksijèn, epi li pa polisyon sifas la. Espesyalman nan grave materyèl sikwi entegre ki gen yon epesè mwens pase 1.5um, trifluorid azòt gen yon vitès grave ak yon selektivite ki trè ekselan, li pa kite okenn rezidi sou sifas objè grave a, epi li se tou yon trè bon ajan netwayaj. Avèk devlopman nanoteknoloji ak devlopman sou gwo echèl endistri elektwonik la, demann li ap ogmante chak jou.

Kòm yon kalite gaz espesyal ki gen fliyò, trifluorid nitwojèn (NF3) se pi gwo pwodui gaz espesyal elektwonik ki disponib sou mache a. Li inaktif chimikman nan tanperati chanm, pi aktif pase oksijèn, pi estab pase fliyò, epi fasil pou manyen nan tanperati ki wo.

Trifluorid nitwojèn yo itilize sitou kòm gaz grave plasma ak ajan netwayaj chanm reyaksyon, apwopriye pou jaden fabrikasyon tankou chip semi-kondiktè, ekran plat, fib optik, selil fotovoltaik, elatriye.

Konpare ak lòt gaz elektwonik ki gen fliyò, trifluorid nitwojèn gen avantaj reyaksyon rapid ak efikasite segondè, espesyalman nan grave materyèl ki gen Silisyòm tankou nitrid Silisyòm, li gen yon gwo vitès grave ak selektivite, li pa kite okenn rezidi sou sifas objè grave a, epi li se tou yon ajan netwayaj trè bon, epi li pa polye sifas la epi li ka satisfè bezwen pwosesis pwosesis la.