Nan pwosesis fabrikasyon fondri plak semi-kondiktè ak pwosesis pwodiksyon relativman avanse, prèske 50 diferan kalite gaz nesesè. Gaz yo jeneralman divize an gaz an gwo akgaz espesyal.

Aplikasyon gaz nan endistri mikwoelektwonik ak semikondiktè Itilizasyon gaz te toujou jwe yon wòl enpòtan nan pwosesis semikondiktè yo, sitou pwosesis semikondiktè yo lajman itilize nan divès endistri. Soti nan ULSI, TFT-LCD rive nan endistri mikwo-elektromekanik (MEMS) aktyèl la, pwosesis semikondiktè yo itilize kòm pwosesis fabrikasyon pwodwi, tankou grave sèk, oksidasyon, enplantasyon iyon, depo fim mens, elatriye.

Pa egzanp, anpil moun konnen chip yo fèt ak sab, men lè nou gade tout pwosesis fabrikasyon chip la, nou wè plis materyèl ki nesesè, tankou fotorezist, likid polisaj, materyèl sib, gaz espesyal, elatriye ki endispansab. Anbalaj dèyè a mande tou substrats, entèpozè, ankadreman plon, materyèl lyezon, elatriye ki fèt ak divès materyèl. Gaz espesyal elektwonik yo se dezyèm pi gwo materyèl nan pri fabrikasyon semi-kondiktè apre wafer silikon yo, ki te swiv pa mask ak fotorezist.

Pite gaz la gen yon enfliyans desizif sou pèfòmans konpozan yo ak rannman pwodwi a, epi sekirite ekipman gaz la gen rapò ak sante pèsonèl yo ak sekirite operasyon faktori a. Poukisa pite gaz la gen yon gwo enpak konsa sou liy pwosesis la ak pèsonèl yo? Sa a se pa yon egzajerasyon, men li detèmine pa karakteristik danjere gaz la li menm.

Klasifikasyon gaz komen nan endistri semi-kondiktè yo

Gaz òdinè

Gaz òdinè yo rele tou gaz an gwo: li refere a gaz endistriyèl ki gen yon egzijans pi bon kalite ki pi ba pase 5N epi ki gen yon gwo volim pwodiksyon ak lavant. Li ka divize an gaz separasyon lè ak gaz sentetik selon diferan metòd preparasyon yo. Idwojèn (H2), azòt (N2), oksijèn (O2), agon (A2), elatriye;

Gaz Espesyal

Gaz espesyal refere a gaz endistriyèl ki itilize nan domèn espesifik epi ki gen egzijans espesyal pou pite, varyete ak pwopriyete. SitouSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ak sou sa.

Kalite gaz espesyal yo

Kalite gaz espesyal: koroziv, toksik, enflamabl, ki sipòte konbisyon, inaktif, elatriye.
Gaz semi-kondiktè yo souvan itilize yo klase jan sa a:
(i) Korozif/toksik:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3...
(ii) Enflamab: H2,CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Enflamabl: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Inaktif: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrLi...

Nan pwosesis fabrikasyon chip semi-kondiktè, yo itilize anviwon 50 diferan kalite gaz espesyal (yo rele gaz espesyal) nan oksidasyon, difizyon, depozisyon, grave, enjeksyon, fotolitografi ak lòt pwosesis, epi total etap pwosesis yo depase plizyè santèn. Pa egzanp, PH3 ak AsH3 yo itilize kòm sous fosfò ak asenik nan pwosesis enplantasyon iyon an, gaz ki baze sou F CF4, CHF3, SF6 ak gaz alojèn CI2, BCI3, HBr yo souvan itilize nan pwosesis grave a, SiH4, NH3, N2O nan pwosesis fim depozisyon an, F2/Kr/Ne, Kr/Ne nan pwosesis fotolitografi a.

Apati aspè ki anwo yo, nou ka konprann ke anpil gaz semi-kondiktè danjere pou kò imen an. An patikilye, gen kèk gaz, tankou SiH4, ki pran dife poukont yo. Toutotan yo koule, y ap reyaji vyolanman ak oksijèn nan lè a epi yo kòmanse boule; epi AsH3 trè toksik. Nenpòt ti flit ka lakòz domaj nan lavi moun, kidonk egzijans pou sekirite konsepsyon sistèm kontwòl la pou itilizasyon gaz espesyal yo patikilyèman wo.

Semi-kondiktè yo bezwen gaz ki gen gwo pite pou yo gen "twa degre"

Pite gaz

Kontni atmosfè enpurte nan gaz la anjeneral eksprime kòm yon pousantaj pite gaz la, tankou 99.9999%. Anjeneral, egzijans pite pou gaz espesyal elektwonik yo rive nan 5N-6N, epi li eksprime tou pa rapò volim kontni atmosfè enpurte ppm (pati pa milyon), ppb (pati pa milya), ak ppt (pati pa billions). Jaden semi-kondiktè elektwonik la gen pi gwo egzijans pou pite ak estabilite kalite gaz espesyal yo, epi pite gaz espesyal elektwonik yo jeneralman pi gran pase 6N.

Sechrès

Kontni tras dlo nan gaz la, oubyen imidite a, anjeneral eksprime an pwen lawouze, tankou pwen lawouze atmosferik -70 ℃.

Pwòpte

Kantite patikil polyan ki nan gaz la, patikil ki gen yon gwosè µm, yo eksprime an konbyen patikil/M3. Pou lè konprese, yo anjeneral eksprime li an mg/m3 rezidi solid inevitab, ki gen ladan kontni lwil la.