Nan pwosesis manifakti a nan fondri wafer semi -conducteurs ak pwosesis pwodiksyon relativman avanse, prèske 50 diferan kalite gaz yo bezwen. Gaz yo jeneralman divize an gaz esansyèl akgaz espesyal.

Aplikasyon nan gaz nan mikwo -elektwonik ak endistri semi -conducteurs itilize nan gaz te toujou jwe yon wòl enpòtan nan pwosesis semi -conducteurs, espesyalman pwosesis semi -conducteurs yo lajman itilize nan endistri divès kalite. Soti nan ULSI, TFT-LCD nan aktyèl mikwo-elektwomekanik (MEMS) endistri a, pwosesis semi-conducteurs yo te itilize kòm pwosesis manifakti pwodwi, ki gen ladan grave sèk, oksidasyon, enplantasyon ion, depozisyon fim mens, elatriye.

Pou egzanp, anpil moun konnen ke bato yo te fè nan sab, men gade nan tout pwosesis la nan manifakti chip, plis materyèl yo bezwen, tankou fotoresist, polisaj likid, materyèl sib, gaz espesyal, elatriye yo endispansab. Back-end anbalaj egzije tou pou substrats, interposers, ankadreman plon, materyèl lyezon, elatriye nan divès kalite materyèl. Gaz espesyal elektwonik yo se dezyèm pi gwo materyèl nan depans fabrikasyon semi -conducteurs apre gato Silisyòm, ki te swiv pa mask ak fotoresist.

Pite gaz la gen yon enfliyans desizif sou pèfòmans eleman ak sede pwodwi, ak sekirite nan ekipman pou gaz ki gen rapò ak sante nan pèsonèl ak sekirite nan operasyon faktori. Poukisa pite gaz la gen yon gwo enpak sou liy pwosesis la ak pèsonèl la? Sa a se pa yon egzajerasyon, men se detèmine pa karakteristik sa yo danjere nan gaz la tèt li.

Klasifikasyon nan gaz komen nan endistri a semi -conducteurs

Gaz òdinè

Se gaz òdinè yo te rele tou gaz esansyèl: li refere a gaz endistriyèl ak yon kondisyon pite pi ba pase 5N ak yon pwodiksyon gwo ak volim lavant yo. Li kapab divize an gaz separasyon lè ak gaz sentetik dapre metòd preparasyon diferan. Idwojèn (H2), azòt (N2), oksijèn (O2), Agon (A2), elatriye;

Gaz espesyalite

Gaz espesyalite refere a gaz endistriyèl ki itilize nan jaden espesifik epi ki gen kondisyon espesyal pou pite, varyete, ak pwopriyete. SitouSih4, PH3, B2H6, A8H3,Sid, CF4,NH3, POCl3, SiH2Cl2, Sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6... ak sou sa.

Kalite gaz spicial

Kalite gaz espesyal: korozivite, toksik, ki ka pran dife, konbisyon-sipòte, inaktif, elatriye.
Souvan itilize gaz semi -conducteurs yo klase jan sa a:
(mwen) korozivite/toksik:Sid、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2 、Bcl3...
(ii) ki ka pran dife: H2 、CH4、Sih4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) ki ka pran dife: O2 、 CL2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) inaktif: N2 、CF4、 C2F6 、C4f8、Sf6、 CO2 、Ne、Kr、 Li ...

Nan pwosesis la nan manifakti chip semi -conducteurs, apeprè 50 diferan kalite gaz espesyal (refere yo kòm gaz espesyal) yo te itilize nan oksidasyon, difizyon, depozisyon, grave, piki, fotolitografi ak lòt pwosesis, ak etap yo pwosesis total depase dè santèn. Pou egzanp, PH3 ak ASH3 yo te itilize kòm fosfò ak sous asenik nan pwosesis la enplantasyon ion, F ki baze sou gaz CF4, CHF3, SF6 ak gaz alojene CI2, BCI3, HBR yo souvan itilize nan pwosesis la grave, SIH4, NH3, N2O nan depozisyon an.

Soti nan aspè ki anwo yo, nou ka konprann ke anpil gaz semi -conducteurs yo danjere nan kò imen an. An patikilye, kèk nan gaz yo, tankou SIH4, yo se pwòp tèt ou-Iyiting. Osi lontan ke yo genyen fuit, yo pral reyaji vyolans ak oksijèn nan lè a epi yo kòmanse boule; Ak ASH3 se trè toksik. Nenpòt ti flit ka lakòz domaj nan lavi moun yo, se konsa kondisyon yo pou sekirite a nan konsepsyon nan sistèm kontwòl pou itilize nan gaz espesyal yo patikilyèman wo.

Semiconductors mande pou gwo pite gaz yo gen "twa degre"

Pite gaz

Se kontni an nan atmosfè malpwòpte nan gaz la anjeneral eksprime kòm yon pousantaj nan pite gaz, tankou 99.9999%. Anjeneral pale, kondisyon an pite pou elektwonik gaz espesyal rive nan 5N-6N, epi li se tou eksprime pa rapò a volim nan malpwòpte atmosfè kontni ppm (pati pou chak milyon dola), ppb (pati pou chak milya dola), ak ppt (pati pou chak billions). Jaden semi -conducteurs elektwonik la gen kondisyon ki pi wo pou pite a ak estabilite bon jan kalite nan gaz espesyal, ak pite a nan gaz espesyal elektwonik se jeneralman pi gran pase 6n.

Sechrès

Kontni nan dlo tras nan gaz la, oswa imidite, anjeneral eksprime nan pwen lawouze, tankou atmosferik lawouze pwen -70 ℃.

Pròpte

Nimewo a nan patikil polyan nan gaz la, patikil ki gen yon gwosè patikil nan µm, ki eksprime nan konbyen patikil/m3. Pou lè konprese, li se anjeneral eksprime nan mg/m3 nan résidus solid inevitab, ki gen ladan kontni lwil oliv.