Nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs wafer fonderie ak pwosesis pwodiksyon relativman avanse, prèske 50 diferan kalite gaz yo bezwen. Gaz yo jeneralman divize an gaz en akgaz espesyal.

Aplikasyon gaz nan endistri mikwo-elektwonik ak semi-conducteurs Itilizasyon gaz yo te toujou jwe yon wòl enpòtan nan pwosesis semi-conducteurs, espesyalman pwosesis semi-conducteurs yo lajman ki itilize nan divès endistri yo. Soti nan ULSI, TFT-LCD nan endistri aktyèl mikwo-elektwomekanik (MEMS), pwosesis semi-conducteurs yo itilize kòm pwosesis fabrikasyon pwodwi, ki gen ladan grave sèk, oksidasyon, enplantasyon ion, depo fim mens, elatriye.

Pou egzanp, anpil moun konnen ke chips yo te fè nan sab, men gade nan pwosesis la tout antye nan fabrikasyon chip, plis materyèl yo bezwen, tankou photoresist, polisaj likid, materyèl sib, gaz espesyal, elatriye yo endispansab. Anbalaj back-end mande tou substrats, interposers, ankadreman plon, materyèl lyezon, elatriye nan divès kalite materyèl. Gaz espesyal elektwonik yo se dezyèm pi gwo materyèl nan depans fabrikasyon semi-conducteurs apre silisyòm wafers, ki te swiv pa mask ak photoresists.

Pite gaz la gen yon enfliyans desizif sou pèfòmans eleman ak pwodiksyon pwodwi, epi sekirite ekipman pou gaz gen rapò ak sante pèsonèl ak sekirite operasyon faktori. Poukisa pite gaz la gen yon gwo enpak sou liy pwosesis la ak pèsonèl yo? Sa a se pa yon egzajerasyon, men se detèmine pa karakteristik sa yo danjere nan gaz nan tèt li.

Klasifikasyon gaz komen nan endistri semi-conducteurs

Gaz òdinè

Gaz òdinè yo rele tou gaz esansyèl: li refere a gaz endistriyèl ak yon kondisyon pite pi ba pase 5N ak yon gwo pwodiksyon ak lavant volim. Li ka divize an gaz separasyon lè ak gaz sentetik dapre metòd preparasyon diferan. Idwojèn (H2), nitwojèn (N2), oksijèn (O2), agon (A2), elatriye;

Gaz espesyal

Gaz espesyal yo refere a gaz endistriyèl ki itilize nan domèn espesifik epi ki gen kondisyon espesyal pou pite, varyete, ak pwopriyete. SitouSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ak sou sa.

Kalite gaz espesyal

Kalite gaz espesyal: korozif, toksik, ki ka pran dife, konbisyon-sipòte, inaktif, elatriye.
Gaz semi-kondiktè yo itilize souvan yo klase jan sa a:
(i) Kowozif/toksik:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBr 、 SiH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2 、BCl3…
(ii) Enflamabl: H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Ki ka pran dife: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) inert: N2、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Li...

Nan pwosesis la nan fabrikasyon chip semi-conducteurs, apeprè 50 diferan kalite gaz espesyal (ki refere kòm gaz espesyal) yo te itilize nan oksidasyon, difizyon, depozisyon, grave, piki, fotolitografi ak lòt pwosesis, ak etap yo pwosesis total depase dè santèn. Pou egzanp, PH3 ak AsH3 yo itilize kòm fosfò ak asenik sous nan pwosesis implantation ion, gaz ki baze sou F CF4, CHF3, SF6 ak gaz alojene CI2, BCI3, HBr yo souvan itilize nan pwosesis la grave, SiH4, NH3, N2O nan pwosesis fim depo, F2/Kr/Ne, Kr/Ne nan pwosesis fotolitografi a.

Soti nan aspè ki anwo yo, nou ka konprann ke anpil gaz semi-conducteurs danjere nan kò imen an. An patikilye, kèk nan gaz yo, tankou SiH4, yo pwòp tèt ou-ignisyon. Osi lontan ke yo koule, yo pral reyaji vyolans ak oksijèn nan lè a epi yo kòmanse boule; ak AsH3 trè toksik. Nenpòt ti flit ka lakòz domaj nan lavi moun, kidonk kondisyon pou sekirite konsepsyon sistèm kontwòl pou itilize gaz espesyal yo patikilyèman wo.

Semiconductors mande pou gaz pite yo gen "twa degre"

Pite gaz

Kontni an nan atmosfè enpurte nan gaz la anjeneral eksprime kòm yon pousantaj nan pite gaz, tankou 99.9999%. Anjeneral pale, kondisyon pou pite pou gaz espesyal elektwonik rive nan 5N-6N, epi li eksprime tou pa rapò volim nan kontni atmosfè enpurte ppm (pati pou chak milyon), ppb (pati pou chak milya), ak ppt (pati pou chak billions). Jaden semi-conducteur elektwonik la gen kondisyon ki pi wo pou pite ak estabilite bon jan kalite gaz espesyal, ak pite gaz espesyal elektwonik jeneralman pi gran pase 6N.

Sechrès

Kontni dlo tras nan gaz la, oswa mouye, anjeneral eksprime nan pwen lawouze, tankou pwen lawouze atmosferik -70 ℃.

Lapwòpte

Kantite patikil polyan nan gaz la, patikil ki gen yon gwosè patikil µm, eksprime nan konbyen patikil/M3. Pou lè konprese, li anjeneral eksprime nan mg / m3 nan résidus solid inevitab, ki gen ladan kontni lwil oliv.