Klori idwojènse yon gaz san koulè ak yon odè pike. Solisyon akeuz li a rele asid idroklorik, ke yo rele tou asid idroklorik. Klori idwojèn trè idrosolubl nan dlo. A 0°C, 1 volim dlo ka fonn anviwon 500 volim klori idwojèn.

Li gen pwopriyete ak karakteristik sa yo:

1. Segondè pite

Pite klas elektwonik laklori idwojèntrè wo, anjeneral nan ppm oswa yon nivo pi ba, pou asire ke pa gen okenn enpurte ki entwodui nan pwosesis fabrikasyon semikondiktè a.

2. Inèsi

Li se yon gaz chimikman inaktif ki pa reyaji avèk anpil lòt sibstans, ki trè enpòtan pou anpeche kontaminasyon materyèl ak ekipman semi-kondiktè.

3. Segondè estabilite

Klas elektwonikklori idwojènjeneralman gen yon chimi ki estab pou asire yon pwosesis semi-kondiktè serye.

Nan pwosesis semi-kondiktè, prensipal aplikasyon klori idwojèn klas elektwonik yo enkli:

1. Netwayaj ak preparasyon sifas

Kòm yon netwayaj sifas efikas, klas elektwonikklori idwojènyo itilize pou retire oksid ak enpurte sou sifas substrat la pou asire kalite ak pite kouch epitaksyèl la oswa fim nan.

2. Èd kwasans epitaksyèl

Itilize kòm yon ajan tretman sifas nan pwosesis epitaksyal la, li ede amelyore kalite kouch epitaksyal la, amelyore matche rezo a, epi redwi fòmasyon domaj rezo.

3. Pretretman substrat la

Anvan preparasyon aparèy semi-kondiktè yo, klas elektwonikklori idwojènka itilize pou trete sifas substrati a pou fòme yon baz ki estab pou amelyore adezyon ant kouch epitaksyal la ak substrati a.

4. Ajan oksilyè depozisyon

Nan pwosesis depo vapè chimik (CVD) oswa depo vapè fizik (PVD), yo ka itilize klori idwojèn klas elektwonik kòm yon mwayen transfè faz gaz pou patisipe nan reyaksyon depo materyèl semi-kondiktè yo.

5. Ajan transfè faz gaz

Kòm yon ajan transfè faz gaz, yo entwodui lòt prekisè gazez nan chanm reyaksyon an pou ede ajiste vitès depo a ak inifòmite materyèl la.

Karakteristik sa yo fè klas elektwonikklori idwojènyon ajan pwosesis enpòtan nan teknoloji semi-kondiktè, ki gen yon enpak kle sou pèfòmans ak fyab aparèy final la.

Anplis itilizasyon li nan pwosesis semi-kondiktè, klori idwojèn klas elektwonik ka jwenn yon varyete itilizasyon nan lòt domèn, tankou: Preparasyon materyèl pite segondè, Pil Konbistib, Kwasans materyèl semi-kondiktè, Litografi Faz Vapè, Analiz Materyèl, Rechèch Chimik.

An jeneral, klas elektwonikklori idwojènse yon gaz versatile ak pite ki gen yon pakèt aplikasyon deyò fabrikasyon semi-kondiktè.