Gaz lazè yo sitou itilize pou rekui lazè ak gaz litografi nan endistri elektwonik la. Gras a inovasyon ekran telefòn mobil yo ak ekspansyon domèn aplikasyon yo, mache polisilikon tanperati ki ba a pral elaji plis toujou, epi pwosesis rekui lazè a amelyore pèfòmans TFT yo anpil. Pami gaz neon, fliyò ak agon yo itilize nan lazè excimer ArF pou fabrike semi-kondiktè, neon reprezante plis pase 96% nan melanj gaz lazè a. Avèk rafinman teknoloji semi-kondiktè a, itilizasyon lazè excimer yo ogmante, epi entwodiksyon teknoloji doub ekspozisyon an mennen nan yon ogmantasyon byen file nan demann pou gaz neon ke lazè excimer ArF yo konsome. Gras a pwomosyon lokalizasyon gaz espesyalite elektwonik yo, manifaktirè domestik yo pral gen yon pi bon espas kwasans mache nan lavni.
Machin litografi a se ekipman prensipal nan fabrikasyon semi-kondiktè. Litografi defini gwosè tranzistò yo. Devlopman kowòdone chèn endistri litografi a se kle pou avansman machin litografi a. Materyèl semi-kondiktè ki koresponn yo tankou fotorezist, gaz fotolitografi, fotomask, ak ekipman kouch ak devlopman gen yon kontni teknolojik ki wo. Gaz litografi a se gaz machin litografi a itilize pou jenere lazè iltravyolèt pwofon. Diferan gaz litografi ka pwodui sous limyè ki gen diferan longèdonn, epi longèdonn yo afekte dirèkteman rezolisyon machin litografi a, ki se youn nan nwayo machin litografi a. An 2020, total lavant mondyal machin litografi yo pral 413 inite, pami yo lavant ASML 258 inite te reprezante 62%, lavant Canon 122 inite te reprezante 30%, ak lavant Nikon 33 inite te reprezante 8%.
Dat piblikasyon: 15 Oktòb 2021
