Epitaksyal (kwasans)Melanje GAs

Nan endistri a semi -conducteurs, gaz la itilize yo grandi youn oswa plis kouch nan materyèl pa depozisyon chimik vapè sou yon substrate ak anpil atansyon chwazi yo rele gaz epitaksyal.

Souvan itilize Silisyòm gaz epitaksyal gen ladan diklorosilane, Silisyòm tetrachlorid aksilan. Sitou itilize pou depozisyon epitaksyal Silisyòm, depozisyon fim Silisyòm oksid, Silisyòm nitrid fim depozisyon, amorphe Silisyòm fim depozisyon pou selil solè ak lòt photoreceptors, elatriye.

Depo Vapè chimik (kardyovaskulèr) gaz melanje

CVD se yon metòd pou depoze sèten eleman ak konpoze pa reyaksyon chimik faz gaz lè l sèvi avèk konpoze temèt, sètadi, yon fim fòme metòd lè l sèvi avèk reyaksyon chimik faz gaz. Tou depan de ki kalite fim ki te fòme, gaz la vapè depo (CVD) gaz itilize tou diferan.

DopanGaz melanje

Nan fabrike nan aparèy semi -conducteurs ak sikwi entegre, enpurte sèten yo doped nan materyèl semi -conducteurs bay materyèl yo ki kalite konduktiviti yo mande yo ak yon sèten rezistivite nan fabrike rezistans, rakor PN, kouch antere l ', elatriye gaz la yo itilize nan pwosesis la yo rele dopan gaz.

Sitou gen ladan Arsine, fosfin, fosfò trifluoride, fosfò pentafluoride, trifluoride asenik, asenik pentafluoride,trifluoride, Diborane, elatriye.

Anjeneral, se sous la dopan melanje ak yon gaz konpayi asirans (tankou Agon ak azòt) nan yon kabinè sous. Apre melanje, se koule nan gaz kontinyèlman sou fòm piki nan gwo founo dife a difizyon ak antoure pen plat la, depoze dopan sou sifas la nan wafer la, ak Lè sa a, reyaji ak Silisyòm jenere metal doped ki emigre nan Silisyòm.

GraveMelanj gaz

Grav se grave lwen sifas la pwosesis (tankou fim metal, Silisyòm oksid fim, elatriye) sou substra a san yo pa maskin fotoresist, pandan y ap konsève zòn nan ak maskin fotoresist, konsa tankou yo jwenn modèl la D 'obligatwa sou sifas la substrate.

Metòd grave yo enkli grave chimik mouye ak grave chimik sèk. Se gaz la yo itilize nan grave chimik grave yo rele grave gaz.

Gaz grave se nòmalman gaz fliyò (halogen), tankoukabòn tetrafluoride, nitwojèn trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, elatriye.