Epitaksyal (kwasans)Ga melanjes

Nan endistri semi-kondiktè a, gaz ki itilize pou fè youn oubyen plizyè kouch materyèl grandi pa depozisyon vapè chimik sou yon substrat ki byen chwazi rele gaz epitaksyal.

Gaz epitaksyal Silisyòm ki souvan itilize yo enkli diklorosilan, tetraklorid Silisyòm aksilanSitou itilize pou depozisyon Silisyòm epitaksi, depozisyon fim oksid Silisyòm, depozisyon fim nitrid Silisyòm, depozisyon fim Silisyòm amorf pou selil solè ak lòt fotoreseptè, elatriye. Epitaksi se yon pwosesis kote yon materyèl kristal sèl depoze epi grandi sou sifas yon substra.

Depozisyon Vapè Chimik (CVD) Gaz Melanje

CVD se yon metòd pou depoze sèten eleman ak konpoze pa reyaksyon chimik faz gaz lè l sèvi avèk konpoze volatil, sa vle di, yon metòd fòmasyon fim lè l sèvi avèk reyaksyon chimik faz gaz. Tou depan de kalite fim ki fòme a, gaz depo vapè chimik (CVD) ki itilize a diferan tou.

DopanGaz melanje

Nan fabrikasyon aparèy semi-kondiktè ak sikui entegre, yo dope sèten enpurte nan materyèl semi-kondiktè pou bay materyèl yo kalite konduktivite ki nesesè a ak yon sèten rezistivite pou fabrike rezistans, jonksyon PN, kouch antere, elatriye. Gaz ki itilize nan pwosesis dopaj la rele gaz dopaj.

Sitou gen ladan l arsin, fosfin, trifluorid fosfò, pentafluorid fosfò, trifluorid asenik, pentafluorid asenik,trifluorid bor, diboran, elatriye

Anjeneral, yo melanje sous dopan an avèk yon gaz vektè (tankou agon ak nitwojèn) nan yon kabinè sous. Apre melanj lan, yo enjekte koule gaz la kontinyèlman nan founo difizyon an epi li antoure waf la, li depoze dopan sou sifas waf la, epi answit li reyaji avèk silikon pou jenere metal dopan ki imigre nan silikon an.

GravureMelanj gaz

Gravure se grave sifas pwosesis la (tankou fim metal, fim oksid Silisyòm, elatriye) sou substra a san maske fotorezist, tout pandan y ap prezève zòn nan ak maske fotorezist la, pou jwenn modèl imaj ki nesesè a sou sifas substra a.

Metòd gravur yo enkli gravur chimik mouye ak gravur chimik sèk. Gaz ki itilize nan gravur chimik sèk la rele gaz gravur.

Gaz grave a anjeneral se gaz fliyò (aliyid), tankoutetrafluorid kabòn, trifluorid nitwojèn, trifluorometàn, egzafluoroetan, pèrfluoropropan, elatriye.