Gaz ultra-wo pite (UHP) yo se san lavi endistri semi-kondiktè a. Pandan yon demann san parèy ak dezòd nan chenn ekipman mondyal yo ap ogmante pri gaz ultra-wo presyon an, nouvo pratik konsepsyon ak fabrikasyon semi-kondiktè yo ap ogmante nivo kontwòl polisyon ki nesesè a. Pou manifaktirè semi-kondiktè yo, li pi enpòtan pase tout tan pou yo kapab asire pite gaz UHP a.

Gaz Ultra High Purity (UHP) yo absoliman kritik nan fabrikasyon semi-kondiktè modèn.

Youn nan prensipal aplikasyon gaz UHP a se inertizasyon: Yo itilize gaz UHP pou bay yon atmosfè pwoteksyon ozalantou konpozan semi-kondiktè yo, kidonk pwoteje yo kont efè danjere imidite, oksijèn ak lòt kontaminan nan atmosfè a. Sepandan, inertizasyon se sèlman youn nan anpil fonksyon diferan ke gaz yo fè nan endistri semi-kondiktè a. Soti nan gaz plasma prensipal rive nan gaz reyaktif yo itilize nan grave ak rekui, gaz presyon ultra wo yo itilize pou anpil rezon diferan epi yo esansyèl nan tout chèn ekipman semi-kondiktè a.

Kèk nan gaz "nwayo" nan endistri semi-kondiktè yo enkliazòt(itilize kòm yon netwayaj jeneral ak gaz inaktif),agon(itilize kòm gaz plasma prensipal nan reyaksyon grave ak depo),elyòm(itilize kòm yon gaz inaktif ak pwopriyete espesyal pou transfè chalè) akidwojèn(jwe plizyè wòl nan rekwi, depo, epitaksi ak netwayaj plasma).

Tank teknoloji semi-kondiktè yo ap evolye epi chanje, se konsa tou gaz yo itilize nan pwosesis fabrikasyon an ap chanje. Jodi a, izin fabrikasyon semi-kondiktè yo itilize yon pakèt gaz, soti nan gaz nòb tankoukriptonepineonpou espès reyaktif tankou trifluorid azòt (NF3) ak egzafluorid tengstèn (WF6).

Demann k ap grandi pou pite

Depi envansyon premye mikropous komèsyal la, mond lan te temwen yon ogmantasyon prèske eksponansyèl etonan nan pèfòmans aparèy semi-kondiktè yo. Pandan senk dènye ane yo, youn nan fason ki pi sèten pou reyalize kalite amelyorasyon pèfòmans sa a se atravè "amelyorasyon gwosè": diminye dimansyon kle achitekti chip ki deja egziste yo pou mete plis tranzistò nan yon espas bay. Anplis de sa, devlopman nouvo achitekti chip ak itilizasyon materyèl dènye kri te pwodui gwo pwogrè nan pèfòmans aparèy yo.

Jodi a, dimansyon kritik semi-kondiktè dènye kri yo tèlman piti ke rediksyon gwosè a pa yon fason solid ankò pou amelyore pèfòmans aparèy yo. Okontrè, chèchè semi-kondiktè yo ap chèche solisyon sou fòm nouvo materyèl ak achitekti chip 3D.

Plizyè dizèn ane ap refèt san pran souf vle di aparèy semi-kondiktè jodi a pi puisan pase ansyen mikwo-pous yo — men yo pi frajil tou. Avènement teknoloji fabrikasyon wafer 300mm lan ogmante nivo kontwòl enpurte ki nesesè pou fabrikasyon semi-kondiktè. Menm pi piti kontaminasyon nan yon pwosesis fabrikasyon (sitou gaz ki ra oswa inaktif) ka mennen nan yon echèk ekipman katastwofik — kidonk pite gaz la pi enpòtan pase tout tan kounye a.

Pou yon izin fabrikasyon semi-kondiktè tipik, gaz ultra-pite a deja pi gwo depans materyèl apre silikon li menm. Yo prevwa depans sa yo ap ogmante sèlman pandan demann pou semi-kondiktè yo ap monte nan nouvo nivo. Evènman an Ewòp yo te lakòz plis dezòd nan mache gaz natirèl ultra-pite ki anba tansyon an. Ikrèn se youn nan pi gwo ekspòtatè nan mond lan nan gaz ultra-pite.neonsiy; envazyon Larisi a vle di rezèv gaz ra sa a ap limite. Sa a mennen nan mank ak pri ki pi wo pou lòt gaz nòb tankoukriptonepiksenon.