Ultra-wo pite (UHP) gaz yo se san nan endistri semi-conducteurs. Kòm demann san parèy ak dezòd nan chèn ekipman mondyal pouse pri gaz ultra-wo presyon, nouvo konsepsyon semi-conducteurs ak pratik fabrikasyon yo ap ogmante nivo kontwòl polisyon ki nesesè. Pou manifaktirè semi-conducteurs, ke yo te kapab asire pite nan gaz UHP pi enpòtan pase tout tan.

Ultra High Purity (UHP) gaz yo absoliman kritik nan fabrikasyon modèn semi-kondiktè

Youn nan aplikasyon prensipal gaz UHP se inertizasyon: gaz UHP yo itilize pou bay yon atmosfè pwoteksyon alantou eleman semi-conducteurs, kidonk pwoteje yo kont efè danjere imidite, oksijèn ak lòt kontaminan nan atmosfè a. Sepandan, inertization se jis youn nan anpil diferan fonksyon ke gaz fè nan endistri semi-conducteurs. Soti nan gaz plasma prensipal yo nan gaz reyaktif yo itilize nan grave ak rkwit, gaz presyon ultra-wo yo itilize pou plizyè rezon diferan epi yo esansyèl nan tout chèn ekipman pou semi-conducteurs.

Gen kèk nan "debaz" gaz yo nan endistri semi-conducteurs yo enklinitwojèn(itilize kòm yon netwayaj jeneral ak gaz inaktif),agon(itilize kòm gaz plasma prensipal la nan reyaksyon grave ak depozisyon),elyòm(itilize kòm yon gaz inaktif ak pwopriyete espesyal chalè-transfè) akidwojèn(jwe plizyè wòl nan rkwir, depo, epitaksi ak netwayaj plasma).

Kòm teknoloji semi-conducteurs te evolye ak chanje, se konsa tou gen gaz yo itilize nan pwosesis fabrikasyon an. Jodi a, plant manifakti semi-conducteurs itilize yon pakèt gaz, ki soti nan gaz nòb tankoukriptonepilumineuznan espès reyaktif tankou trifluoride nitwojèn (NF 3 ) ak hexafluoride tengstèn (WF 6 ).

Ap grandi demann pou pite

Depi envansyon premye microchip komèsyal la, mond lan te temwen yon ogmantasyon etonan tou pre-eksponansyèl nan pèfòmans aparèy semi-conducteurs. Pandan senk ane ki sot pase yo, youn nan fason ki pi asire yo reyalize kalite amelyorasyon pèfòmans sa a se atravè "size gwosè": diminye dimansyon kle nan achitekti chip ki deja egziste yo nan lòd yo peze plis tranzistò nan yon espas bay yo. Anplis de sa, devlopman nan nouvo achitekti chip ak itilizasyon materyèl dènye kri te pwodwi kwasans nan pèfòmans aparèy.

Jodi a, dimansyon kritik yo nan dènye kri semi-conducteurs yo kounye a se tèlman piti ke dekale gwosè se pa yon fason solid ankò amelyore pèfòmans aparèy. Olye de sa, chèchè semi-conducteurs yo ap chèche pou solisyon nan fòm lan nan materyèl nouvo ak achitekti chip 3D.

Plizyè deseni nan redesign san pran souf vle di aparèy semi-kondiktè jodi a yo pi pwisan pase mikro chips yo nan tan lontan - men yo pi frajil tou. Avènement de 300 milimèt wafer fabwikasyon teknoloji te ogmante nivo kontwòl impuretés mande pou semi-conducteurs manifakti. Menm kontaminasyon an mwendr nan yon pwosesis fabrikasyon (espesyalman gaz ra oswa inaktif) ka mennen nan echèk ekipman katastwofik - kidonk pite gaz kounye a pi enpòtan pase tout tan.

Pou yon plant fabrikasyon semi-kondiktè tipik, gaz ultra-wo pite se deja pi gwo depans materyèl apre Silisyòm tèt li. Depans sa yo sèlman espere ogmante kòm demann pou semi-conducteurs monte nan nouvo wotè. Evènman an Ewòp te lakòz plis dezòd nan mache gaz natirèl tansyon ultra-wo presyon. Ikrèn se youn nan pi gwo ekspòtatè nan mond lan nan pite-wolumineuzsiy; Envazyon Larisi a vle di pwovizyon gaz ra yo ap limite. Sa a nan vire mennen nan mank ak pi wo pri nan lòt gaz nòb tankoukriptonepiksenon.