Ultra-segondè pite (UHP) gaz yo se vital nan endistri a semi-conducteurs. Kòm demann san parèy ak deranjman nan chenn ekipman pou mondyal pouse moute pri a nan gaz presyon ultra-segondè, nouvo konsepsyon semi-conducteurs ak pratik manifakti yo ap ogmante nivo a nan kontwòl polisyon ki nesesè. Pou manifaktirè semi -conducteurs, ke yo te kapab asire pite a nan gaz UHP se pi enpòtan pase tout tan.

Ultra segondè pite (UHP) gaz yo se absoliman kritik nan manifakti semi -conducteurs modèn

Youn nan aplikasyon prensipal yo nan gaz UHP se inerization: UHP gaz yo itilize yo bay yon atmosfè pwoteksyon alantou konpozan semi -conducteurs, kidonk pwoteje yo soti nan efè danjere nan imidite, oksijèn ak lòt kontaminan nan atmosfè a. Sepandan, inèrizasyon se jis youn nan anpil fonksyon diferan ki gaz fè nan endistri a semi -conducteurs. Soti nan gaz plasma prensipal nan gaz reyaktif yo itilize nan grave ak rkwir, gaz presyon ultra-segondè yo te itilize pou plizyè rezon diferan ak yo esansyèl nan tout chèn ekipman pou semi-conducteurs.

Gen kèk nan gaz yo "nwayo" nan endistri a semi -conducteurs gen ladan yoazòt(itilize kòm yon netwayaj jeneral ak gaz inaktif),argon(itilize kòm gaz la plasma prensipal nan grave ak depozisyon reyaksyon),eleium(itilize kòm yon gaz inaktif ak pwopriyete espesyal chalè-transfè) akidwojèn(jwe wòl miltip nan rkwir, depozisyon, epitaksi ak netwayaj plasma).

Kòm teknoloji semi -conducteurs te evolye ak chanje, se konsa gen gaz yo itilize nan pwosesis la manifakti. Jodi a, plant fabrikasyon semi -conducteurs itilize nan yon pakèt domèn gaz, ki soti nan gaz nòb tankoukriptonakanpèchmannan espès reyaktif tankou trifluoride nitwojèn (NF 3) ak hexafluoride tengstèn (WF 6).

Ap grandi demann pou pite

Depi envansyon nan premye microchip komèsyal la, mond lan te temwen yon etonan tou pre-eksponansyèl ogmantasyon nan pèfòmans nan aparèy semi-conducteurs. Plis pase senk ane ki sot pase yo, youn nan fason ki pi pou reyalize sa a kalite amelyorasyon pèfòmans te nan "gwosè eskalad": diminye dimansyon kle nan achitekti chip ki egziste deja yo nan lòd yo peze plis tranzistò nan yon espas bay yo. Anplis de sa, devlopman nouvo achitekti chip ak itilizasyon materyèl dènye kri yo te pwodwi franchi nan pèfòmans aparèy.

Jodi a, dimansyon kritik nan semi-kondiktè dènye kri yo kounye a se konsa ti ki gwosè eskalad se pa yon fason solid amelyore pèfòmans aparèy. Olye de sa, chèchè semi -conducteurs yo ap chèche pou solisyon nan fòm lan nan materyèl roman ak 3D achitekti chip.

Deseni nan Redesign débordan vle di aparèy semi -conducteurs jodi a yo byen lwen plis pouvwa anpil pase microchips yo nan fin vye granmoun - men yo ap tou plis frajil. Avènement de 300mm teknoloji fabwikasyon wafer ogmante nivo a nan kontwòl malpwòpte obligatwa pou manifakti semi -conducteurs. Menm kontaminasyon an mwendr nan yon pwosesis manifakti (espesyalman ra oswa inaktif gaz) ka mennen nan echèk ekipman katastwofik - se konsa pite gaz se kounye a pi enpòtan pase tout tan.

Pou yon plant fabrikasyon semi-conducteurs tipik, gaz ultra-wo-pite se deja depans nan materyèl pi gwo apre Silisyòm tèt li. Frè sa yo sèlman espere ogmante kòm demann pou semi -kondiktè monte nan wotè nouvo. Evènman nan Ewòp te lakòz plis dezòd nan tansyon ultra-segondè presyon mache gaz natirèl la. Ikrèn se youn nan pi gwo ekspòtatè nan mond lan nan wo-piteanpèchmansiy; Envazyon Larisi a vle di founiti pou gaz la ra yo te contrainte. Sa a nan vire mennen nan mank ak pi wo pri nan lòt gaz nòb tankoukriptonakksenon.