Espesifikasyon | 99.999% |
Oksijèn + Agon | ≤1ppm |
Azòt | ≤4 ppm |
Imidite (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Alokabin | ≤1 ppm |
Total enpurte | ≤10 ppm |
Tetrafluorid kabòn se yon idrokarbur alojene ak fòmil chimik CF4. Li ka konsidere kòm yon idrokarbur alojene, metàn alojene, pèrfluorokarbon, oswa kòm yon konpoze inòganik. Tetrafluorid kabòn se yon gaz san koulè ak san odè, ensolub nan dlo, idrosolub nan benzèn ak klorofòm. Stab nan tanperati ak presyon nòmal, evite oksidan fò, materyèl ki ka pran dife oswa ki ka pran dife. Gaz ki pa ka pran dife, presyon entèn veso a ap ogmante lè li ekspoze a gwo chalè, e gen yon danje pou fann ak eksplozyon. Li estab chimikman e li pa ka pran dife. Se sèlman reyaktif metal likid amonyak-sodyòm ki ka fonksyone nan tanperati chanm. Tetrafluorid kabòn se yon gaz ki lakòz efè sèr. Li trè estab, ka rete nan atmosfè a pou yon bon bout tan, epi li se yon gaz ki lakòz efè sèr ki trè pwisan. Yo itilize tetrafluorid kabòn nan pwosesis grave plasma nan divès sikui entegre. Yo itilize li tou kòm yon gaz lazè, epi yo itilize li nan frijidè ki ba tanperati, solvang, lubrifyan, materyèl izolan, ak likid refwadisman pou detektè enfrawouj. Li se gaz gravur plasma ki pi itilize nan endistri mikwoelektwonik la. Li se yon melanj gaz tetrafluorometàn ki gen gwo pite ak gaz tetrafluorometàn ki gen gwo pite ak oksijèn ki gen gwo pite. Li ka lajman itilize nan silikon, diyoksid silikon, nitrid silikon, ak vè fosfosilikat. Gravure materyèl fim mens tankou tengstèn ak tengstèn tou lajman itilize nan netwayaj sifas aparèy elektwonik, pwodiksyon selil solè, teknoloji lazè, refrijerasyon ba tanperati, enspeksyon flit, ak detèjan nan pwodiksyon sikwi enprime. Itilize kòm yon febrifuj ba tanperati ak teknoloji gravur sèk plasma pou sikwi entegre. Prekosyon pou depo: Sere nan yon depo gaz ki fre, ayere e ki pa ka pran dife. Kenbe lwen dife ak sous chalè. Tanperati depo a pa ta dwe depase 30 °C. Li ta dwe estoke separeman de materyèl ki ka pran dife fasilman (ki ka pran dife) ak oksidan, epi evite depo melanje. Zòn depo a ta dwe ekipe ak ekipman tretman ijans flit.
① Frijidè:
Tetrafluorometàn pafwa itilize kòm yon febrifuj tanperati ki ba.
② Gravure:
Li itilize nan mikwofabrikasyon elektwonik poukont li oswa an konbinezon avèk oksijèn kòm yon etchant plasma pou Silisyòm, diyoksid Silisyòm, ak nitrid Silisyòm.
Pwodwi | Tetrafluorid kabònCF4 | ||
Gwosè pake a | Silenn 40 lit | Silenn 50 lit | |
Ranpli pwa nèt/silenn | 30Kg | 38Kg | |
Kantite chaje nan yon veso 20' | 250 Silenn | 250 Silenn | |
Pwa nèt total | 7.5 Tòn | 9.5 Tòn | |
Pwa Tare Silenn | 50Kgs | 55Kg | |
Valv | CGA 580 |
① Pite anwo nan syèl la, dènye etablisman an;
②Manifakti sètifika ISO;
③Livrezon rapid;
Sistèm analiz sou entènèt pou kontwòl kalite nan chak etap;
⑤ Segondè egzijans ak pwosesis metikuleu pou manyen silenn anvan ranpli;