Spesifikasyon | 99.999% |
Oksijèn + Agon | ≤1ppm |
Azòt | ≤4 ppm |
Imidite (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbynes | ≤1 ppm |
Enpurte total | ≤10 ppm |
Tetrafluorid kabòn se yon idrokarbone alojene ak fòmil chimik CF4. Li ka konsidere kòm yon idrokarbone alojene, metàn alojene, perfluorokarbon, oswa kòm yon konpoze inòganik. Tetrafluorid kabòn se yon gaz san koulè ak odè, ensolubl nan dlo, idrosolubl nan benzèn ak klowofò. Ki estab anba tanperati nòmal ak presyon, evite oksidan fò, materyèl ki ka pran dife oswa ki ka pran dife. Gaz ki pa pran dife, presyon entèn veso a ap ogmante lè yo ekspoze a gwo chalè, epi gen yon danje pou fann ak eksplozyon. Li se chimik ki estab ak ki pa ka pran dife. Se sèlman likid amonyak-sodyòm metal reyaktif ka travay nan tanperati chanm. Tetrafluorid kabòn se yon gaz ki lakòz efè lakòz efè tèmik. Li trè estab, ka rete nan atmosfè a pou yon tan long, epi li se yon gaz efè tèmik trè pwisan. Tetrafluorid kabòn yo itilize nan pwosesis grave plasma nan divès sikwi entegre. Li se tou itilize kòm yon gaz lazè, epi yo itilize nan febrifuj ki ba-tanperati, solvang, grès machin, materyèl posibilite, ak awozaj pou detektè enfrawouj. Li se gaz la grav plasma ki pi itilize nan endistri a mikwo-elektwonik. Li se yon melanj de tetrafluoromethane-wo pite gaz ak tetrafluoromethane-wo pite gaz ak oksijèn-wo pite. Li ka lajman itilize nan Silisyòm, diyoksid Silisyòm, nitrure Silisyòm, ak fosfosilikat vè. Gravure nan materyèl fim mens tankou tengstèn ak tengstèn tou lajman itilize nan netwayaj sifas aparèy elektwonik, pwodiksyon selil solè, teknoloji lazè, refrijerasyon ba-tanperati, enspeksyon koule, ak detèjan nan pwodiksyon sikwi enprime. Itilize kòm yon febrifuj ba-tanperati ak plasma sèk teknoloji grave pou sikui entegre. Prekosyon pou depo: Sere nan yon depo gaz ki fre, ayere ki pa ka pran dife. Kenbe lwen dife ak sous chalè. Tanperati depo a pa ta dwe depase 30 ° C. Li ta dwe estoke separeman ak konbistib fasil (ki ka pran dife) ak oksidan, epi evite depo melanje. Zòn depo a ta dwe ekipe ak ekipman tretman ijans flit.
① Refrijeran:
Tetrafluoromethane pafwa itilize kòm yon febrifuj tanperati ki ba.
② Gravure:
Yo itilize li nan mikrofabrik elektwonik pou kont li oswa nan konbinezon ak oksijèn kòm yon plasma plasma pou Silisyòm, diyoksid Silisyòm, ak nitrure Silisyòm.
Pwodwi | Tetrafluorid kabònCF4 | ||
Gwosè pake | 40Ltr silenn | 50Ltr silenn | |
Konble Pwa Net / Cyl | 30kgs | 38kgs | |
QTY chaje nan veso 20' | 250 sil | 250 sil | |
Total Pwa Net | 7.5 Tòn | 9.5 Tòn | |
Pwa tare silenn | 50kgs | 55kgs | |
Valv | CGA 580 |
①High pite, dènye etablisman;
②Manifakti sètifika ISO;
③Livrezon rapid;
④On-liy sistèm analiz pou kontwòl kalite nan chak etap;
⑤High egzijans ak pwosesis metikuleu pou manyen silenn anvan ou ranpli;